八島 伸二 | (株)日立国際電気
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概要
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(株)日立国際電気
著作論文
- ガス導入及びプラズマのパルス化によるイオン種の均一性向上
- 大口径プラズマにおけるイオン種空間分布の測定
- パルスプラズマにおけるフラグメントイオンのRF電力依存性
- マイクロ波を重畳したICPプラズマの特性
- 29aA19P インバータ式多相交流電源を用いたプラズマ生成とその応用(プラズマ応用)