小松 和弘 | 金沢工業大学

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概要

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• 小松 和弘

  金沢工業大学

• 林 啓治

  金沢工業大学

• 作道 訓之

  金沢工業大学

• 豊田 一行

  (株)日立国際電気

• 横川 貴史

  金沢工業大学

• 豊田 一行

  日立国際電気

• 石田 丈繁

  日立国際電気

• 八島 伸二

  日立国際電気

• 八島 伸二

  (株)日立国際電気

• 西山 陽子

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• 森 武志

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• 石田 丈繁

  国際電気

• 豊田 一行

  国際電気

• 八島 伸二

  国際電気

• 奥地 茂人

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  アプライドマテリアルズジャパン

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  アプライドマテリアルズジャパン

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著作論文

• ガス導入及びプラズマのパルス化によるイオン種の均一性向上
• 大口径プラズマにおけるイオン種空間分布の測定
• パルスプラズマにおけるフラグメントイオンのRF電力依存性
• 磁界の最適化によるマイクロ波イオン源のB^+ビーム大電流化
• プラズマ中のフラグメントイオン種分布に対する圧力の影響

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