磁界の最適化によるマイクロ波イオン源のB^+ビーム大電流化
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概要
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- 2000-08-22
著者
-
林 啓治
金沢工業大学
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小松 和弘
金沢工業大学
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作道 訓之
金沢工業大学
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田崎 義明
金沢工業大学
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宮本 淳史
金沢工業大学
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松永 保彦
アプライドマテリアルズジャパン
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伊藤 裕之
アプライドマテリアルズジャパン
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油谷 真敏
金沢工業大学
-
伊藤 清一
アプライドマテリアルズジャパン
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