スパッタリングと水熱合成を用いた圧電デバイス用PZT薄膜の作製
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2013-01-25
著者
関連論文
- オーステンパ球状黒鉛鋳鉄における塊状残留オーステナイトの応力誘起マルテンサイト変態に関する電子顕微鏡観察
- オーステンパ球状黒鉛鋳鉄材の疲労亀裂進展挙動に及ぼす塊状残留オーステナイトの影響
- オーステンパ球状黒鉛鋳鉄の弓|張変形下におけるき裂発生に及ぼす塊状残留オーステナイトの影響
- 小型超高圧油圧アクチュエータを用いたレスキューロボットの開発とその可能性検証試験
- J-5 微小孔板の超音波振動による液滴生成実験(強力超音波)
- ガス導入及びプラズマのパルス化によるイオン種の均一性向上
- 大口径プラズマにおけるイオン種空間分布の測定
- 永久磁石を用いたマイクロ波イオン源の磁路の設計
- パルスプラズマにおけるフラグメントイオンのRF電力依存性
- 磁界の最適化によるマイクロ波イオン源のB^+ビーム大電流化
- 24pZ-9 表面物性制御への応用を目的とした高品質中性ラジカルビームの生成技術の開発 (II) : PDECB法の理論検討
- 24pZ-8 表面物性制御への応用を目的とした高品質中性ラジカルビームの生成技術の開発 (I) : PDINIB装置の改良
- マイクロ波を重畳したICPプラズマの特性
- 分子動力学シミュレーションによる弾性接触動摩擦法則の研究
- 7a-PS-60 高品質中性ラジカルビーム生成技術の開発と表面プロセスへの応用
- 弾性接触摩擦の原子論的な単純化したモデルII
- 二電子温度マイクロ波プラズマにおけるプローブ測定
- 高強度鋳鉄の水濡れ状態での機械的性質
- ねずみ鋳鉄の被削性に及ぼす枯らし及び応力除去焼なましの影響
- オーステンパ球状黒鉛鋳鉄の引張変形に伴う亀裂発生機構
- (117)SSHで学ぶ高校生が取り組んだ課題研究の運営 : 高大連携の効果(セッション33 高大連携II)
- 熱処理した Ti-47at.% Al 金属間化合物の高温曲げ変形挙動に及ぼすγ相等軸粒の影響
- Ti-47at.%Al金属間化合物鋳造材の高温曲げ破壊特性と変形組織
- M5-1 水熱合成法を用いた圧電薄膜アクチュエータの紫外光駆動(M5 アクチュエータ/フィジカルセンサ)
- 高張力鋼切り欠き底からの応力腐食割れ発生特性
- 高張力4340鋼SCC破面近傍の残留応力分布に及ぼす電極電位の影響(X線材料強度小特集)
- TiAl金属間化合物のX線応力測定(X線材料強度小特集)
- 低合金鋼の空気中および3.5%食塩水中での疲労破面のX線フラクトグラフィ(X線材料強度小特集)
- 101 高張力鋼SCCにおける切欠き底での微小き裂の発生と成長(応力腐食割れ)
- 球状黒鉛鋳鉄の低温における破壊じん性のX線フラクトグラフィ的研究
- 球状黒鉛鋳鉄の切欠き付CT試験片の破壊じん性
- 高張力鋼の切欠きCT試験片の破壊じん性試験破面のX線的研究
- 332 軟鋼不溶着溶接部の動的破壊靭性
- 2A1-S-082 ディスク型圧電セラミックス振動子を用いたマイクロ超音波モータの研究 : 第1報:ステータの設計と解析(アクチュエータの機構と制御4,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
- プラズマイオン注入したPETシートの表面解析
- 工学専門実験・演習(2)「真空実験」における試み
- 低エネルギーイオンビーム
- 工業用イオン源
- 3Pa4-2 超音波ねじり振動子による微小液滴生成に関する研究(ポスターセッション)
- ポリイミドフィルム基板上へのTiNi合金の低温成膜による形状記憶デバイスの作製
- 微粒子励振型空気流量制御弁の非線形性補償による流量制御
- 3Pb4-6 チタンを用いた極低温環境用超音波モータ用振動子の評価(ポスターセッション)
- 3Pa4-3 超音波ねじり振動子と微小孔板による微小液滴生成における生成条件に関する研究(ポスターセッション)
- イオン照射とスパッタリングの同時プロセスを利用したTiNi合金薄膜の低温合成技術の開発
- スパッタリングと水熱合成を用いた圧電デバイス用PZT薄膜の作製
- スピンコート法による Bi-2201 薄膜の作製と配向制御