24pZ-9 表面物性制御への応用を目的とした高品質中性ラジカルビームの生成技術の開発 (II) : PDECB法の理論検討
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1999-09-03
著者
-
林 啓治
金沢工業大学
-
作道 訓之
金沢工業大学
-
藤山 正孝
金沢工業大学 高度材料科学R&Dセンター
-
安田 正明
金沢工業大学 高度材料科学R&Dセンター
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藤山 正孝
金沢工業大学 高度材料科学r&dセンター
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安田 正明
金沢工業大学 高度材料科学r&dセンター
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作道 訓之
金沢工業大学 高度材料科学r&dセンター
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