プラズマ中のフラグメントイオン種分布に対する圧力の影響

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概要

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• イオン注入表層処理研究会の論文
• 2001-11-30

著者

• 小松 和弘

  金沢工業大学

• 横川 貴史

  金沢工業大学

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