八島 伸二 | 日立国際電気
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概要
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国際電気
著作論文
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- 大口径プラズマにおけるイオン種空間分布の測定
- パルスプラズマにおけるフラグメントイオンのRF電力依存性
- マイクロ波を重畳したICPプラズマの特性