Thermal Boundary Resistance of W/Al₂O₃ Interface in W/Al₂O₃/W Three-Layered Thin Film and Its Dependence on Morphology
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概要
著者
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岡 伸人
青学大理工
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岡 伸人
東大
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OKA Nobuto
Graduate School of Science and Engineering, Aoyama Gakuin University
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岡 伸人
青山学院大学大学院理工学研究科
-
Oka Nobuto
Graduate School of Frontier Sciences, The University of Tokyo
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