オンチップ光配線用MZI型シリコン光変調器およびInGaAs MSM-PDの小型集積化技術の開発 (光エレクトロニクス)

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概要

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• 2010-12-17

著者

• 大平 和哉

  (株)東芝研究開発センター

• 小林 賢太郎

  (株)東芝研究開発センター

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