分布帰還型半導体レーザの回折格子へのUVナノインプリント技術の応用 (特集 インプリントリソグラフィのフォトニクスへの応用)

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概要

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著者

• 辻 幸洋

  住友電工(株)伝送デバイス研究所

• 辻 幸洋

  住友電気工業株式会社伝送デバイス研究所

• 吉永 弘幸

  住友電気工業株式会社伝送デバイス研究所

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