エピタキシャルγ-Al2O3/Si基板上のエピタキシャルPZT薄膜を利用した焦電型赤外線センサ

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概要

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• 画像電子学会の論文
• 2005-11-14

著者

• 赤井 大輔

  豊橋技術科学大学VBL

• 平林 京介

  豊橋技術科学大学 電気・電子工学系

• 余川 三香子

  豊橋技術科学大学 電気・電子工学系

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