メゾプラズマCVDによる機能コーティング--シリコン薄膜の高速クラスター堆積 (特集 コーティング技術--ナノテクを含む高機能化の最前線)
スポンサーリンク
概要
著者
-
神原 淳
東京大学大学院工学系研究科マテリアル工学専攻
-
吉田 豊信
東京大学大学院工学系研究科
-
吉田 豊信
東京大学工学部
-
吉田 豊信
東大・工
-
吉田 豊信
東京大学
-
吉田 豊信
東京大学大学院工学系研究科マテリアル工学専攻
-
吉田 豊信
東京大学工学部金属工学科
-
吉田 豊信
東京大学工学部マテリアル工学科
-
吉田 豊信
東京大学大学院工学系研究科金属工学専攻
関連論文
- 2.2 メゾプラズマCVDによる高速低温堆積技術応用(2.CVD,粒子合成への応用,熱流を伴う反応性プラズマを用いた材料合成プロセス)
- IUVSTA Scientific and Technical Divisions (STD) の報告
- 9.3 「境界領域」の将来技術展望(9. 境界領域)(21 世紀へ向けて-鉄鋼技術 10 年の軌跡)
- 高耐熱材料の創製と特性
- Nd-123系酸化物超伝導単結晶の育成とその超伝導特性向上
- 高速成膜・高速表面改質技術の進歩と応用(第 124 回(平成 4 年秋季)講演大会討論会まとめ)
- 立方晶窒化ホウ素膜成長に伴う相変化の HRTE M観察
- 高性能遮熱コーティングのための低弾性率トップコートの新規製造プロセス
- ハイブリッドプラズマのモデル計算における磁場の取り扱いの2次元化の効果
- 気相プロセスによる立方晶窒化ほう素薄膜の堆積
- 209 高周波(RF)プラズマを用いた溶射法の研究
- バイアススパッタ堆積法により作製されたBN膜の微細組織
- cBN薄膜 (2000年特集号 ニューダイヤモンド今世紀の軌跡と21世紀への展望) -- (第2部 新世紀に向けてのブレークスルー)
- 気相堆積c-BN薄膜とその機械的性質
- ハイブリッドプラズマによるSi_3N_4微粒子の合成
- セラミックスの熱プラズマ超高速CVD法に関する研究
- プラズマ焼結法に関する研究
- 反応性スパッタリング法によるBN薄膜の作製
- ハイブリッドプラズマによる炭化ケイ素微粒子の合成
- 高周波プラズマによる超微粒子の作製
- 熱プラズマによる金属および金属化合物粉の製造 (金属粉の製造)
- 高周波誘導プラズマを利用する金属酸化物の製造--とくに高純度石英ガラスの合成について
- 高エネルギーイオンビームを利用したBN薄膜の組織改質とその電気的特性 (共用設備利用成果報告) -- (粒子ビーム基礎科学分野)
- 次世代プラズマコーティング技術
- ツインハイブリッドプラズマスプレイ法による新規遮熱YSZ複合コーティング作製
- 特集「ナノコーティング」によせて
- メゾプラズマCVDによる機能コーティング--シリコン薄膜の高速クラスター堆積 (特集 コーティング技術--ナノテクを含む高機能化の最前線)
- ナノコーティングプロジェクトの意義
- ナノコーティングシステム (特集 ナノコーティングの新展開)
- 溶射プロセス高度化の要件
- 高エネルギーイオンビームを利用したcBN薄膜の機械的・電気的特性改質とその評価 (共用設備利用成果報告) -- (粒子ビーム基礎科学分野)
- 1. はじめに (熱プラズマの産業応用における現状)
- VAMASによる国際共同研究
- 東京大学工学部マテリアル工学科発足
- ホットクラスターエピタキシーによる高温超伝導体YBa_2Cu_3O_厚膜作製
- 特集「熱プラズマ材料プロセシングの最近の発展」によせて
- ドライコーティング技術の将来展望
- 6. 熱プラズマの成膜プロセスへの応用(熱プラズマの物理・化学過程とその応用VI)
- プラズマ環境下におけるダイヤモンド生成過程のその場計測と動力学的モデリング
- マテリアル工学科の設立--その背景と意義、そして未来
- マテリアル工学科の設立--その背景と意義,そして未来 (特集 大学の材料教育と社会的責任)
- 単一溶射粒子の基板衝突時における過冷状態の計測とそのスプラット形態に及ぼす影響
- 単一溶射粒子の急速変形・急速凝固過程のその場計測装置の高度化
- ダイヤモンド合成用低圧誘導結合プラズマのプローブ測定
- 低圧誘導結合プラズマを用いた100mTorr以下におけるダイヤモンド成長
- 熱プラズマによる生成--期待される高出力プラズマ反応装置の開発 (超微粒子)
- ナノコーティングプロジェクトの概要
- 2.プロセス用プラズマ : 2.2熱(平衡)プラズマ(実用装置におけるプラズマ生成)
- SiCの減圧熱プラズマCVD
- 「プラズマ化学に関するゴードン会議」に出席して
- ハイブリッドプラズマ法による窒化ケイ素超微粉の合成とその粉体特性
- 第11回プラズマ化学国際シンポジウム報告
- 先端に,人 東京大学工学部マテリアル工学科教授・吉田豊信
- ハイブリッドプラズマト-チによる溶射プロセスの高度化 (溶射皮膜技術の魅力を検証する)
- 熱プラズマフラッシュ蒸発法による超伝導薄膜の作製
- 熱プラズマによる電気伝導性セラミックスの合成 (セラミックスへのプラズマ利用)
- 駆け出し研究者として