2.プロセス用プラズマ : 2.2熱(平衡)プラズマ(<小特集>実用装置におけるプラズマ生成)
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概要
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Initially, thermal plasma processing is briefly characterized and reviewed for better image-making of the reason why various kinds of plasma torches have been developed so far. Next, on account of limited space, several types of plasma torches based on the induction heating principle are presented with injection plasma processing (IPP) in mind, which has been used for high-rate and large-area deposition of various materials as well as the synthesis of ultrafine ceramics and alloy powders.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1993-07-25
著者
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