Conventional Measurement Method of Film Resistance of Plasma-Polymerized Thin Films Using a High-Resistance Meter
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概要
著者
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黒澤 茂
(独)産業技術総合研究所
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KUROSAWA Shigeru
National Institute of Materials and Chemical Research
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黒沢 茂
物質工学工業技術研究所化学システム部
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黒澤 茂
通商産業省工業技術院エネルギー技術研究開発課
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黒澤 茂
セメダイン(株)開発部 研究第3グループ
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黒沢 茂
物質研
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黒澤 茂
通商産業省工業技術院物質工学工業技術研究所有機合成化学部フッ素化学研究室
-
Kurosawa S
National Inst. Advanced Industrial Sci. & Technol. Tsukuba Jpn
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Kurosawa Shigeru
National Inst. Advanced Industrial Sci. And Technol. (aist) Ibaraki Jpn
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黒澤 茂
National Inst. Advanced Industrial Sci. And Technol. (aist) Ibaraki Jpn
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