Detection of Deposition Rate of plasma-Polymerized Films with a Quartz Crystal Microbalance
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概要
著者
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黒澤 茂
(独)産業技術総合研究所
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KUROSAWA Shigeru
National Institute of Materials and Chemical Research
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黒沢 茂
物質研
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黒澤 茂
通商産業省工業技術院物質工学工業技術研究所有機合成化学部フッ素化学研究室
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Hirotsu T
National Inst. Advanced Industrial Sci. And Technol. Tsukuba Jpn
-
Kurosawa S
National Inst. Advanced Industrial Sci. & Technol. Tsukuba Jpn
-
Kurosawa Shigeru
National Inst. Advanced Industrial Sci. And Technol. (aist) Ibaraki Jpn
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