気体導入によるSi冷陰極アレイの特性改善

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概要

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• 大阪大学極限科学研究センタ-の論文

著者

• 高井 幹夫

  大阪大学 極限科学研究センター

• 由良 信介

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

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