円錐形タ-ゲットを用いた線材被覆用直流スパッタ装置の試作
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概要
著者
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入戸野 修
福島大学共生システム理工学類
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入戸野 修
東京工業大学理工学研究科材料工学専攻
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入戸野 修
東京工業大学工学部金属工学科
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入戸 野修
東工大工
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入戸野 修
東京工業大学工学部 : 百年記念館
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桜井 美恵子
群馬工業高等専門学校
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