高周波スパッタ-法によるZrO2-Al2O3系非晶質膜の形成と構造 (薄膜の形成と構造<特集>) -- (無機薄膜)

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概要

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• 日本化学会の論文

著者

• 花田 禎一

  京都大学教養部

• 曽我 直弘

  京大 大学院

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