高周波スパッタ法によって作製されたAlPO_4-Ala_2O_3系非晶質膜の動性と構造(構造)(<特集>ガラス・アモルファス材料及びその材料科学の進展)
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概要
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- 1989-03-01
著者
-
曽我 直弘
京都大学工学部材料化学教室
-
花田 禎一
京都大学教養部化学科
-
花田 禎一
京都大学教養部
-
曽我 直弘
京大 大学院
-
加埜 智典
京都大学工学部工業化学科
-
曽我 直弘
京都大学工学研究科材料化学専攻
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