プラズマ重合による有機薄膜 (身近になったCVD技術<特集>)
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概要
著者
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吉田 泰彦
東洋大工
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村山 洋一
東洋大学工学部
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柏木 邦宏
東洋大学 バイオナノエレクトロニクス研究センター
-
吉田 泰彦
東洋大
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吉田 泰彦
Department Of Applied Chemistry Faculty Of Engineering Tohyo University
-
村山 洋一
東洋大学工学部・電気電子工学科
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