High-Coupling and High-Temperature Stable Surface Acoustic Wave Substrates Using Groove-Type Interdigital Transducer
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概要
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In this study, to obtain new substrates with the high coupling of electromechanical coefficients ($k^{2}$) and near-zero temperature coefficients of frequency (TCFs), very thin periodic grooves and interdigital transducers (IDTs) are fabricated on high-coupling substrates. Simulation results show a high $k^{2}$ (over 0.4) at $H/\lambda=0.1$ for rotated $Y$-cut, $X$-propagating LiNbO3 leaky surface acoustic wave substrates, and a high $k^{2}$ (over 0.08) and a small TCF ($-10$ ppm/°C) at $H/\lambda=0.1$ for 36°$Y$-cut, $X$-propagating LiTaO3 leaky surface acoustic wave (SAW) substrates. The experimental results showed good agreements with the theoretical results.
- Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physicsの論文
- 2006-05-30
著者
-
YAMANOUCHI Kazuhiko
Tohoku Institute of Technology
-
Satoh Yusuke
Tohoku Institute Of Technology
-
KAWASAKI Daisuke
Tohoku Institute of Technology
-
Satoh Yusuke
Tohoku Institute of Technology, Sendai 982-8577, Japan
-
Yamanouchi Kazuhiko
Tohoku Institute of Technology, Sendai 982-8577, Japan
-
Kawasaki Daisuke
Tohoku Institute of Technology, Sendai 982-8577, Japan
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