High Temperature Stable Acoustic Surface Wave Substrates of SiO_2/LiNbO_3 Structure with Super High Coupling
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概要
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In this study, in order to improve the temperature coefficient of frequency (TCF), the propagation characteristics of SiO_2/Rotated Y-cut, X-propagating LiNbO_3 leaky surface acoustic wave (SAW) substrates with a large electromechanical coupling coefficient (κ^2), zero attenuation and zero TCF are theoretically investigated. The results showed a large κ^2 of more than 0.2 (zero κ^2 of Rayleigh mode), zero TCF and zero propagation attenuation for leaky SAW in the case of a short boundary at a thin film thickness of H/λ 〓 0.15-0.25 (H: SiO_2 film thickness, λ: SAW wavelength). The experimental results agreed with the theoretical ones. [DOI: 10.1143/JJAP.41.3480]
- 社団法人応用物理学会の論文
- 2002-05-30
著者
-
Ishii Tsutomu
Document Product Company. Fuji Xerox Company Ltd.
-
YAMANOUCHI Kazuhiko
Tohoku Institute of Technology
-
Ishii Toru
Tohoku Institute Of Technology
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