高純度四塩化ケイ素中の微量ホウ素の定量 : 微量ホウ素の吸光定量法の研究(第4報)
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概要
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半導体用高純度金属ケイ素の製造原料である四塩化ケイ素中の10<SUP>-7</SUP>%程度のホウ素を定量する方法を検討した.試料にN,N-ジメチルアニリンを捕集剤として加え,蒸留して四塩化ケイ素を追出し,三塩化ホウ素として含まれるホウ素をジメチルアニリンとの配位化合物にして残留させた.ジメチルアニリンに捕集されたホウ素は,ホウ酸メチルエステルとして蒸留分離し,シュウ酸-クルクミン法で吸光定量した.空試験値が高かったため,10<SUP>-8</SUP>%のホウ素は定量できなかった.なお,ジオキサンは捕集剤として適当でないが,トリ-<I>n</I>-ブチルアミンは用いうる可能性がある.
- 社団法人 日本分析化学会の論文
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