銅フタロシアニン蒸着薄膜の熱的挙動
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概要
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The structure of vacuum deposited copper phtalocyanine (Cu-Pc) films on glass substrate was examined in relation to those deposited on (100) KCl substrate, by varying substrate temperature (<I>T<SUB>s</SUB></I>), deposition rate, etc.<BR>The crystal structure observed was of α-form with thread-like mosaic structure for <I>T<SUB>s</SUB></I>≤170°C, irrespective of other deposition parameters. Occurrence of β-form took place for <I>T<SUB>s</SUB></I>_??_ 170°C. Cu-Pc film of α-form grows such that the molecular plane (001) of Cu-Pc is parallel to the substrate resulting in a columnar mosaic structure similar to that observed for KCl substrate.<BR>Films of α-form sublimed before showing any change when heated in vacuum. On the other hand, the threadlike mosaic structure, when treated in air at temperatures higher than 190°C, grew in size, and the texture was divided into domains of the order of a few microns, within which the mosaic structure has a common director.
- 日本真空協会の論文
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