カーボン薄膜のフォーミングと電子放出
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概要
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The purposes of the present work were to develop the fabrication techniques of a thin film electron emitter. Devices with good reproducibility and stability were obtained when carbon films were deposited on a Corning 7059 glass rubbed with emery paper (#1000), and were heat-treated at 600°C in high vacuum.<BR>When the input power density to the devices attained to about 2.4×10<SUP>8</SUP> W/cm<SUP>3</SUP>, the carbon films were locally broken due to the joule heating and electron emission from the devices became to be detected. The <I>I-V</I> characteristics after the forming were similar to those of the electroformed MIM type devices, and the emission efficiencies were (26) ×10<SUP>-4</SUP>.
- 日本真空協会の論文
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