低速イオン散乱分光装置
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概要
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A UHV apparatus has been constructed, which allows surface analysis by ISS (Ion Scattering Spectroscopy), LEED and AES. This paper describes the ISS system of the apparatus. A B-A gauge type ion gun, which is used to produce noble gas ions, is operated at the pressure of 1 × 10<SUP>-4</SUP> Torr with wide energy range (350 3000 eV). The accelerated ion beam passes through the magnetic sector mass spectrometer (<I>R</I>=11.5 cm, φ=-60°, <I>M</I>/Δ<I>M</I>=20) and the lens system. The scattered and secondary ions are energy-analysed by the cylindrical sector analyser (<I>R</I>R=4.5 cm, φ=127°, <I>E</I>/Δ<I>E</I>=100). The analyser allows energy analysis in the range of scattering angles from 0° to 95°. The base pressure in the sample chamber is 2 × 10<SUP>-10</SUP> Torr, and the working pressures during ISS experiment are 8 × 10 <SUP>-10</SUP> Torr for Ne ions and 1 × 10<SUP>-9</SUP> Torr for He ions, respectively.<BR>A special specimen manipulator was devised to meet the requirement of the multiple measurement.<BR>Some preliminaly experimental results from a InSb (111) surface are presented.
- 日本真空協会の論文
著者
-
生地 文也
九共立大工
-
塙 輝雄
大阪大学工学部
-
生地 文也
大阪大学工学部, 電子ビーム研究施設
-
尾浦 憲次郎
大阪大学工学部電子ビーム研究施設
-
生地 文也
大阪大学工学部
-
生地 文也
大阪大学工学部電子ビーム研究施設
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