気相反応によるAIN超微粒子の合成
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概要
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Chemical vapor deposition equipment was applied to produce ultra-fine powders of AlN where Al was melted by radio-frequency generator in NH<SUB>3</SUB> atmosphere.The chemical reaction was carried out at 1450K for 3.6ks.and the obtained samples were analyzed by TEM.SEM and XRD.The degree of AlN synthesis became higher.and the uniformity of ultra-fine AlN perticle size became higher with increasing amount of NH3 gas supply.And the tendency that the amount of AlN particles with sub-micronorder might be higher with increasing flow rate of NH<SUB>3</SUB> gas.was also confirmed.
- 社団法人 粉体粉末冶金協会の論文
著者
-
横田 勝
高岡短期大学産業工芸学科
-
永井 宏
大阪大学 工学部材料物性工学科
-
横田 勝
Faculty Of Art And Design University Of Toyama
-
柳生 宗一
大阪大学 大学院
-
真島 一彦
大阪大学 工学部
-
横田 勝
高岡短期大学
-
永井 宏
大阪大学 工学部
-
横田 勝
高岡短期大学 金属工芸
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