YAG高調波を利用したシリコンの微細加工 : —熱変形法によって作製したマイクロレンズの加工光学系への応用—
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概要
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Micro machining of single-crystalline silicon is performed with the second-harmonic of Nd:YAG laser in this study. In experiments, various shapes of plastic microlens are fabricated on a transparent substrate by the developed die-less method. These microlenses are shaped by thermal deformation induced by the Er:YAG laser beam absorbable for the acrylate resin. And then, these lenses are used as optical devices to generate the local high energy density desired for machining of silicon in air and water. Machining characteristics are investigated in the single groove machining process, and the grid groove pattern and the herringbone pattern are formed to demonstrate the feasibility of proposed methods.
著者
-
田中 隆太郎
金沢大学理工研究域
-
上田 隆司
金沢大学理工研究域
-
細川 晃
金沢大学大学院自然科学研究科
-
田中 隆太郎
金沢大学大学院自然科学研究科
-
上田 隆司
金沢大学大学院自然科学研究科
-
山田 啓司
金沢大学工学部
-
山田 啓司
広島大学大学院工学研究科
-
田中 隆太郎
広島大学大学院
-
田中 隆太郎
金沢大
-
加藤 寛満
パナソニック電工 (株)
-
田中 隆太郎
金沢大学
-
細川 晃
金沢大学大学院
-
山田 啓司
広島大学大学院
-
上田 隆司
金沢大学大学院
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