シリコンウエハやサファイア基板など硬脆材料のレーザ割断 (特集 ここまで進んだ高密度エネルギー加工技術)

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概要

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• 日刊工業新聞社の論文

著者

• 上田 隆司

  金沢大学理工研究域

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