機台振動抑圧を考慮したXYステージの軌道追従制御
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概要
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Machine tools require XY stages that can be quickly and accurately controlled. However, when an XY stage is moved at a high speed, machine stand vibrates because of the reaction force of the actuator, and this vibration decreases the positioning accuracy. In this paper, we propose a control method based on ZPETC and used a peak filter to achieve quick and accurate tracking control. The effectiveness of the proposed method is verified by performing a simulation and experiment.
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