オゾン水によるフォトレジスト除去過程に及ぼす紫外線の効果
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
高濃度オゾン水によるノボラック樹脂を主成分とするフォトレジストの除去過程の機構を明らかにした上で，適度の紫外線照射が大きく除去を加速することが見いだされ，除去が二段階の化学プロセスで進むことが明らかとなった．すなわち，（1）紫外線によってオゾンが分解して生じた水酸化物ラジカルがノボラック樹脂のフェノール部を水酸化してポリフェノールに変換する．（2）親電子試薬であるオゾンに対してフェノールより著しく反応性が向上したポリフェノールは，容易にオゾンの酸化分解を受けて高効率フォトレジスト除去を達成する．一方，紫外線が強すぎると，全てのオゾンが光分解するので除去速度は落ちる結果となった．これらの実験事実に基づいてオゾン濃度と紫外線強度のバランスが除去効率を支配することが明らかとなった．
- 社団法人 化学工学会の論文
著者
-
金子 暁子
筑波大学大学院システム情報工学研究科
-
阿部 豊
筑波大学大学院システム情報工学研究科
-
金子 暁子
筑波大学大学院 システム情報工学研究科
-
八木 崇弘
筑波大学大学院システム情報工学研究科
-
濵田 博之
筑波大学大学院システム情報工学研究科
-
池 昌俊
（株）つくばセミテクノロジー
-
浅野 俊之
茨城県工業技術センター
-
加藤 健
茨城県工業技術センター
-
藤森 憲
筑波大学産学リエゾン共同研究センター
-
阿部 豊
筑波大学大学院 システム情報工学研究科
関連論文
- 電磁場加熱による突沸時の噴き零れ挙動の可視化観測(第14回動力・エネルギー技術シンポジウム)
- 3次元格子ガスオートマトン法を用いた高温粒子表面上の蒸気膜崩壊挙動に関する数値シミュレーション
- 浮遊液滴の回転変形挙動に及ぼす粘性の影響に関する研究
- 浮遊液滴の非線形挙動に関する研究 : 静電浮遊液滴の振動・回転に対する変形挙動
- PIVによる音場浮遊液滴の内外部流動同時計測
- オゾン水によるフォトレジスト除去過程に及ぼす紫外線の効果
- 静電浮遊液滴の回転挙動を用いた新たな非接触粘性測定法の開発
- 高耐圧マイクロチャネル積層型熱交換器の伝熱特性(究極の除熱性能を目指して)
- ステレオPIVを用いた音響浮遊液滴の内部流動発生機構の解明
- D225 微細管内流動における凝縮挙動に関する研究(管内沸騰・凝縮)
- 0414 マイクロチャンネルを用いた次世代熱交換器の開発(S46-1 高効率ヒートポンプの要素技術とその応用(1),S46 高効率ヒートポンプの要素技術とその応用)
- OS1-3 高耐圧マイクロチャンネル熱交換器の伝熱特性評価(OS1 マイクロエネルギー変換,循環型社会における動力エネルギー技術)
- 21820 マイクロチャンネル内の凝縮挙動に関する研究(ミニ・マイクロ・ナノスケールの流れおよび熱の現象,OS.5 ミニ・マイクロ・ナノスケールの流れおよび熱の現象)
- 5023 マルチマイクロチャンネルの伝熱流動特性に関する研究(S51-2 マイクロ・ナノスケールの熱流体現象とその応用(2),S51 マイクロ・ナノスケールの熱流体現象とその応用)
- OS4-10 高耐圧マイクロチャンネル積層型熱交換器の伝熱特性評価(OS4 省エネルギー・小型分散電源・コジェネ技術,分散と集中の共存)
- 10510 マイクロ波加熱による沸騰挙動の可視化観測に関する研究(産学における混相研究(3),OS.13 産学における混相研究)
- 21004 管群複雑流路内高速流れにおける乱流統計量の評価(可視化・画像処理,OS.12 流体計測技術の新展開,学術講演)
- K-2212 蒸気爆発におけるトリガープロセスに関する研究(J14-3 沸騰伝熱)(J14 & J11 & J12 原子力利用技術と熱問題)
- 超音速蒸気インジェクタの作動特性に関する研究(多相(混相)系における新しい計測とシミュレーション)
- OS10-8 超音速蒸気インジェクター内の熱流体挙動に関する研究(OS10 混相流の計測技術と解析,循環型社会における動力エネルギー技術)
- 電磁場加熱による突沸時の噴き零れ挙動の可視化観測
- 10509 噴流内部流動と周囲流動構造のPIV計測(産学における混相研究(3),OS.13 産学における混相研究)
- F216 液中ジェットの界面挙動可視化観測(FBR(2),OS-8 軽水炉・新型炉・核燃料サイクル(3),一般講演,地球温暖化防止と動力エネルギー技術)
- 21002 超音速蒸気流中における水噴流界面の流動特性に関する研究(可視化・画像処理,OS.12 流体計測技術の新展開,学術講演)
- 2631 超音速蒸気流中の水噴流挙動に関する研究(S57-2 原子炉システムおよびその要素技術(2),S57 原子炉システムおよびその要素技術)
- 10501 中心水噴流型超音速蒸気インジェクタの作動特性(Visual Presentation Contest)
- 超音速蒸気インジェクターに及ぼす非凝縮性ガスの影響に関する研究(NP2 軽水炉の設計・建設技術)
- 10602 PIVによる音場浮遊液滴周りの流動計測(流体測定技術の新展開(1),OS.12 流体測定技術の新展開)
- S0803-3-1 超音速蒸気流中の水噴流界面挙動と伝熱流動特性(原子力発電システムおよび要素技術(3))
- CO_2ハイドレート膜の膜厚評価(オーガナイズドセッション12 CO_2排出抑制技術に関する熱工学)
- S0803-3-2 ABWR下部プレナム内流れにおける乱流場計測と乱流モデルの適用性評価(原子力発電システムおよび要素技術(3))
- 1402 急減圧過程における高粘性流体中の気泡生成挙動(OS14-1 分散系混相流のダイナミクス,オーガナイズドセッション)
- 0803 同軸円盤間回転流れの可視化計測(OS8-1 多次元ビジュアリゼーション,オーガナイズドセッション)
- S0502-3-2 円盤間狭領域における複雑流動の可視化計測(機能性流体工学の先端融合化(3))
- G0801-1-5 CO_2ハイドレート膜に及ぼす流れの影響(動力エネルギー部門一般(1))
- 10605 静電浮遊法による回転印加した粘性液滴の挙動(流体測定技術の新展開(2),OS.12 流体測定技術の新展開)
- 10401 物質移動メカニズムに基づくCO_2ハイドレートの膜厚解析(環境問題と伝熱工学(1),OS.10 環境問題と伝熱工学)
- 高温粒子表面上の蒸気膜崩壊時における微視的界面挙動に関する研究
- 2602 CO_2ハイドレートの生成特性に関する研究(S31-1 温室効果ガス排出抑制技術(1),21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 超音波による浮遊液滴の界面変形と内部流動の非線形ダイナミクス
- 第45回日本伝熱シンポジウムを終えて
- 第23回混相流レクチャーシリーズ「Javaによる流れ・気液二相流の数値シミュレーション(実習付)」
- 明日にきらめけ!機械系女子(トピックス)
- B212 蒸気爆発のトリガー時における蒸気膜の微視的崩壊挙動(オーガナイズドセッション3 : 界面における輸送現象の物理)
- E209 電磁場加熱による突沸時の噴き零れ挙動の可視化観測(沸騰と噴流,OS8 軽水炉・新型炉・核燃料サイクル)
- E205 液中ジェット界面における内部流動と周囲流動との相互作用(高速炉基盤技術,OS8 軽水炉・新型炉・核燃料サイクル)
- E110 微細管内における蒸気流の凝縮挙動に関する研究(OS1 マイクロエネルギー変換)
- D114 円盤間狭領域における流動構造の可視化計測(OS10 混相流動)
- D213 CO_2ハイドレート膜の生成挙動に関する研究(OS12 温暖化対策とCO2削減技術)
- D113 微細管内気液二相スラグ流動様式に及ぼす液物性ならびに管特性の影響(OS10 混相流動)
- オゾン水によるフォトレジスト除去過程に及ぼす紫外線の効果
- 浮遊液滴の回転分裂挙動を用いた非接触物性測定法の開発
- 関東学生会の概要と学生会の活動(学生会だより)
- 定電流法によるマイクロバブルを含む分散気泡流のボイド率計測
- まえがき(温める,冷やす)
- J0502-1-1 円盤間狭領域流れの多次元可視化計測([J0502-1]混相流の多次元ビジュアリゼーション〜流動場の光・電磁場・超音波センシング〜(1))
- S0802-2-4 定電流法による分散気泡流のボイド率計測(原子力システムおよび要素技術(2))
- 0908 音場浮遊液滴の外部流動構造と物質輸送の相互関係(OS9-2 混相流の多次元可視化計測,オーガナイズドセッション)
- 21019 音場浮遊液滴の蒸発挙動(一般講演 二相流(2))
- 21018 音響浮遊液滴の界面変形と内部流動の相関に関する研究(一般講演 二相流(2))
- 21017 音響浮遊液滴の界面挙動に及ぼす温度変化の影響(一般講演 二相流(2))
- B205 超音速蒸気中の水噴流界面における熱・運動量輸送特性(OS8 熱流動),動力エネルギーシステム部門20周年,次の20年への新展開)
- B210 溶融物ジェットと冷却材の相互作用に及ぼす界面固化の影響(OS8 熱流動),動力エネルギーシステム部門20周年,次の20年への新展開)
- 21003 表面固化条件下における溶融物ジェットと冷却材の相互作用(OS10 マイクロ・ナノ熱流体工学(1),オーガナイズドセッション)
- 0405 ベンチュリ管マイクロバブル発生法を用いた表面洗浄手法の提案(OS4-1 キャビテーションおよびマイクロバブル効果とその応用技術,オーガナイズドセッション)
- 0403 ベンチュリ管における気泡微細化挙動の詳細観測(OS4-1 キャビテーションおよびマイクロバブル効果とその応用技術,オーガナイズドセッション)
- 21011 高濃度オゾン水を用いたレジスト除去に及ぼすオゾン水流動の影響(OS10 マイクロ・ナノ熱流体工学(2),オーガナイズドセッション)
- D111 ベンチュリ管式微細気泡発生装置のボイド率特性 : 定電流法を用いたボイド率計測(OS9 混相流動),動力エネルギーシステム部門20周年,次の20年への新展開)
- 21006 ベンチュリ管式マイクロバブル発生装置における電気抵抗検出型ボイド率計の開発(OS10 マイクロ・ナノ熱流体工学(1),オーガナイズドセッション)
- MNM-5A-2 T型マイクロ流路混合部における均一スラグ流形成過程(セッション 5A ナノ・マイクロ異相界面センシングと制御)
- 21005 高粘性流体における急減圧時の気泡生成挙動(OS10 マイクロ・ナノ熱流体工学(1),オーガナイズドセッション)
- 21010 矩形断面ベンチュリを用いた表面洗浄技術の提案(OS10 マイクロ・ナノ熱流体工学(2),オーガナイズドセッション)
- B204 ABWR炉心入口流れに及ぼす下部プレナム内複雑流動場の影響(OS8 熱流動),動力エネルギーシステム部門20周年,次の20年への新展開)
- B216 高耐圧マイクロチャンネル積層型熱交換器の二相流伝熱流動特性(OS8 熱流動),動力エネルギーシステム部門20周年,次の20年への新展開)
- 20307 マイクロチャネル積層型熱交換器の伝熱特性とその可能性(OS3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS) 基調講演,オーガナイズドセッション)
- 0310 光干渉縞を用いたナノサイズ微粒子径の非接触・インライン計測(OS302 ナノスケールの熱流動現象,オーガナイズドセッション)
- F202 多孔質中での液体CO_2の流動挙動に及ぼすハイドレートの影響(OS11 温暖化対策とCO_2削減技術),動力エネルギーシステム部門20周年,次の20年への新展開)
- 21009 T型微細混合部内における気液二相スラグ流の形成過程(OS10 マイクロ・ナノ熱流体工学(2),オーガナイズドセッション)
- 0910 静電浮遊法を用いた粘性液滴の回転分裂挙動(OS9-3 混相流の多次元可視化計測,オーガナイズドセッション)
- 21004 微細管内における蒸気凝縮挙動に関する研究(OS10 マイクロ・ナノ熱流体工学(1),オーガナイズドセッション)
- 静電浮遊液滴の回転分裂挙動を用いた非接触粘性測定法の開発
- CO_2ハイドレート膜厚に及ぼす周囲流速の影響
- 静電浮遊液滴の共振周波数に及ぼす回転の影響
- F135 蒸気インジェクタの作動範囲の予測に向けた熱・運動量輸送特性に関する研究(OS-11:沸騰・二相流(4))
- D133 EVモータ構造を模擬した同心2重円筒管内の流動数値解析(OS-7:電子機器冷却における熱流動現象(3))
- D132 EVモータ構造を模擬した同心2重円筒間内の流動可視化(OS-7:電子機器冷却における熱流動現象(3))
- 219202 集光光による光干渉縞を用いた微粒子径計測(OS10 熱流体計測の新展開2,オーガナイズド・セッション)
- 219201 気液直接接触凝縮による複雑界面挙動を伴う熱・運動量輸送に関する研究(OS10 熱流体計測の新展開2,オーガナイズド・セッション)
- 216401 音場浮遊液滴の内外部流動構造と物質輸送の相互関係(一般05 流体力学・流体工学5)
- 219204 複雑管群流路内における流動構造遷移(OS10 熱流体計測の新展開2,オーガナイズド・セッション)
- 216402 マイクロ波加熱による過渡沸騰現象の支配要因に関する研究(一般05 流体力学・流体工学5)
- 218405 直接接触式硫酸濃縮における物質移動係数測定装置の検討(一般04 熱力学・熱工学3)
- H111 CO_2ハイドレート膜厚に及ぼす流れ場の影響(OS11 温暖化対策とCO_2削減技術)
- 216404 気泡崩壊挙動に及ぼすベンチュリ管内流動構造の影響(一般05 流体力学・流体工学5)
- 216205 充填層内における液体CO_2の流動挙動に及ぼすハイドレートの影響(一般05 流体力学・流体工学3)
- 218101 高耐圧マイクロチャンネル熱交換器の構造最適化に関する研究(OS11 次世代熱工学,オーガナイズド・セッション)
- 219102 定電流法による微細気泡流れのボイド率計測(OS10 熱流体計測の新展開1,オーガナイズド・セッション)
- E104 ウルトラマイクロ蒸気インジェクターの作動条件の検討(OS1&9 マイクロエネルギー変換・熱・流動(マイクロ))
- 216204 CO_2ハイドレート膜厚の時系列計測(一般05 流体力学・流体工学3)
- H112 充填層内におけるハイドレート生成を伴う液体CO_2の流動挙動(OS11 温暖化対策とCO_2削減技術)