J0502-1-1 円盤間狭領域流れの多次元可視化計測([J0502-1]混相流の多次元ビジュアリゼーション〜流動場の光・電磁場・超音波センシング〜(1))
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概要
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Photoresist stripping process in photo lithography plays an important role in manufacturing large-scale integration. In the present study, experimental information is obtained to establish high concentrated ozone water technology, in stead of chemicals such as sulfuric acid or hydrochloric acid. We examine flow structure between a stationary and a rotating disk for the sake of improving removal rate of photoresist using flow structure between the disks. Three-components velocities which are a radial, rotational and z directional flow velocity in a plane are obtained with stereo micro PTV measurement of a flow in the narrow gap. It is confirmed that z directional flow exits near the edge of the disk.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2010-09-04
著者
-
金子 暁子
筑波大学大学院システム情報工学研究科
-
阿部 豊
筑波大学大学院システム情報工学研究科
-
金子 暁子
筑波大学大学院 システム情報工学研究科
-
浅野 俊之
茨城県工業技術センター
-
加藤 健
茨城県工業技術センター
-
藤森 憲
筑波大学産学リエゾン共同研究センター
-
阿部 豊
筑波大学大学院 システム情報工学研究科
-
濱田 博之
筑波大院
-
池 昌俊
(株)つくばセミテクノロジー
-
阿部 豊
筑波大
-
金子 暁子
筑波大学
-
藤森 憲
筑波大学産学リエゾン共同センター
-
池 昌俊
合同会社アプテックス
-
金子 暁子
筑波大
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