特集6 : 研究解説 : 液体ボンド砥石を用いた高能率研磨法
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
特集 生産・加工システムの最適化液体ボンド砥石は、微細な砥粒を液体の表面張力により結合したもので、硬脆材料の鏡面研磨を目的として開発した非常に柔らかいラッピング砥石である。本報告では、この液体ポンド砥石の構造や特徴について解説するとともに、その特徴を生かして高加工圧にて研磨を行う方法について述べ、さらに高加工圧領域での硬脆材料であるシリコンウエハやセラミックスに対する研磨特性について解説する
- 東京大学生産技術研究所,Institute of Industrial Science, the University of Tokyo,東京大学生産技術研究所第2部 工作機械測定工学,東京大学生産技術研究所第2部 工業化学の論文
- 1987-06-01
著者
関連論文
- ポリマ粒子を用いた研磨加工による工作物ふち形状の高精度化
- 研磨フィルムによる光ファイバコネクタの端面仕上げにおける異物付着の抑制(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 研究速報「酸化チタンを添加した固定砥粒研磨パッドの開発」
- 油性スラリーを用いた複合粒子研磨法に適する工具プレートの検討(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 油性スラリーを用いた複合粒子研磨法に適する工具プレートの検討
- (16)研磨パッドを用いない鏡面研磨法の提案 : 複合粒子研磨法の開発(論文,日本機械学会賞〔2004年度(平成16年度)審査経過報告〕)
- 酸化チタンの添加による高気孔率固定砥粒研磨パッドの開発(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 複合粒子研磨法の開発 : 樹脂工具プレートに関する検討
- 複合粒子研磨法の開発 : 工具プレートに関する検討
- 研磨パッドを用いない鏡面研磨法の提案 : 複合粒子研磨法の開発(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 2814 複合粒子研磨法の開発 : 各種材料への適用
- 2813 複合粒子研磨法の開発 : 両面研磨への適用
- 複合粒子研磨法:水晶研磨への適用
- 複合粒子研磨法:両面研磨への適用
- 複合粒子研磨法:工具プレートに関する検討
- 複合粒子研磨法:キャリア粒子に関する検討
- 油系分散媒を用いた複合粒子研磨法の研究
- 複合粒子研磨 (特集 超精密研磨加工はどこまで進んだか) -- (各種研磨法の開発成果)
- 複合粒子研磨法 : 加工特性を支配する要因
- 高密度低結合度ラッピング砥石の開発とその硬脆材料の鏡面研磨への応用
- 複合粒子研磨法 : ポリマ粒子による砥粒レス研磨
- テクニカルレポート 間違いだらけの研磨加工
- 複合粒子研磨法におけるキャリア粒子の役割
- 複合粒子研磨法の水晶研磨への適用
- 油系スラリーを用いた複合粒子研磨法 : 工具プレートについての検討
- 磁性流体を用いた磁気浮揚研磨法の研究(第2報) : 加工圧と加工特性との関係についての考察
- 磁性流体を用いた磁気浮揚研磨法の研究(第1報) : 磁性流体の研磨液としての特性と磁気浮揚研磨法の原理
- 研究速報 : 磁性流体を用いた磁気浮揚研磨法の開発(第3報) : 加工メカニズムの解明
- 磁性流体を用いた高性能研磨法の開発
- 研究速報 : 磁性流体を用いた磁気浮揚研磨法の開発(第2報) : 磁気浮揚研磨の高能率・高精度
- 研究速報 : 磁性流体を用いた磁気浮揚研磨法の開発(第1報) : 磁気浮揚研磨の概念とその実証
- 高密度低結合度ラッピング砥石を用いた硬脆材料の鏡面研磨
- 液体ボンド砥石を用いた高能率研磨法の研究(第2報) : 液体ボンド砥石の高加工圧下における研磨特性
- 特集12 : 研究速報 : 低結合度ラッピング砥石について
- 液体ボンド砥石を用いた高能率研磨法の研究(第1報) : 液体ボンド砥石の使用限界圧力の向上
- 特集6 : 研究解説 : 液体ボンド砥石を用いた高能率研磨法
- 液体ボンド砥石を用いた高能率研摩法の開発
- 特集6 : 研究解説 : 磁気浮揚研磨法の新しい展開
- 研究速報 : 液体ボンド砥石を用いた高能率研磨法の開発(第1報) : 液体ボンド砥石の製造方法とその加工特性