28aCH-6 540keV C_<60>^<2+>照射による非晶質SiNのスパッタリング(28aCH 放射線物理(放射線計測・2次電子放出・クラスター・放射線損傷),領域1(原子分子・量子エレクトロニクス・放射線))
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概要
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- 一般社団法人日本物理学会の論文
- 2014-03-05
著者
-
斎藤 勇一
原子力機構
-
松田 誠
原子力機構
-
鳴海 一雅
原子力機構
-
左高 正雄
原子力機構
-
中嶋 薫
京大院工
-
木村 健二
京大院工
-
森田 陽亮
京大院工
-
北山 巧
京大院工
-
鈴木 基文
京大院工
-
辻本 将彦
京大iCeMS
-
磯田 正二
京大iCeMS
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