21pTD-2 イオン照射による ZnO 系薄膜の特性改質

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2003-08-15

著者

• 左高 正雄

  原研機構東海

• 松波 紀明

  名大エコトピア研

• 左高 正雄

  原子力機構

• 田沢 真人

  産総研

• 福岡 修

  名大エコトピア研

• 左高 正雄

  原研

• 福岡 修

  名大院工

• 松波 紀明

  名大理工総研

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