31p-CF-8 イオン打ち込みSi結晶表面のX線による評価(31p CF X線・粒子線)

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概要

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• 一般社団法人日本物理学会の論文
• 1986-03-29

著者

• 石田 興太郎

  東理大理工

• 田村 誠男

  日立中研

• 小川 貴史

  住金鉱

• 真瀬垣 成隆

  東理大理工

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