高次直列結合量子井戸マイクロリング波長選択スイッチ(マイクロ波フォトニクス技術,一般)
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概要
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InGaAs/InAlAs多重量子井戸をコア層とするマイクロリング共振器を用いて4次直列結合マイクロリング波長選択スイッチ(WSS)を作製し,動作実証を行った.マイクロリング共振器のコア層には五層非対称結合量子井戸(FACQW)を用いており,その量子閉じ込めシュタルク効果(QCSE)に基づく電界誘起屈折率変化により動作するため,動作の高速化と低消費電力化が期待できる.本研究では,分子線エピタキシー法により成長したエピウエハをドライエッチングにより加工し,周回長350μmの4つのマイクロリング共振器およびバスライン導波路からなるWSSを作製した.波長スイッチング特性を測定し,単一および2次直列結合マイクロリング共振器よりも箱形化したフィルタ特性を実現した.共振波長間隔(FSR)およびフィルタ波長特性の半値幅はそれぞれ1.81nmおよび0.35nmで,動作電圧12Vで0.7nmのヒットレス波長スイッチング動作を得た.ドロップポートにおけるスイッチング静特性において消光比は約20dBであり,また本WSSと同じ構造を有する単一マイクロリング共振器のスイッチング動特性においては,スイッチ時間約2nsの高速動作を得ることに成功した.
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2013-07-11
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