E-63 半導体工場向け省ヱネ型水噴霧システムの導入事例
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Direct humidiftcation using compressed air atomizer is one of the effective energy-saving system methods for semiconductor factory. We have improved the control system that can keep the humidity constant using dual control valves1)-3). The system is appropriate such as factory that has huge internal heat generation and huge provided outside air. The report introduces one of the system's introductory examples in this winter that establish its effects and controllability.
- 社団法人空気調和・衛生工学会の論文
- 2005-07-25
著者
関連論文
- 盛岡市郊外に建設された総合大学の設備計画と環境測定(その5)クールヒートトンネルの環境測定と性能分析
- 盛岡市郊外に建設された総合大学の設備計画と環境測定(その4)エネルギー消費量とコージェネレーション
- 盛岡市郊外に建設された総合大学の設備計画と環境測定(その3)地中熱利用とコジェネレーションの効果
- 盛岡市郊外に建設された総合大学の設備計画と環境測定(その2)環境実測結果
- 盛岡市郊外に建設された総合大学の設備計画と環境測定(その1)設備計画と省エネルギーコンセプト
- 電子デバイス製造用クリーンルームにおける室内系統水噴霧加湿の研究 : 第1報-省エネルギー効果の検証
- 406 水噴霧による半屋外駅舎の温熱環境改善に関する研究 : 水噴霧による冷却性能と温熱快適性の検討(省エネルギー(2),環境保全型エネルギー技術)
- 0134 ポケット部を有する菱形角柱群管路からの流れの可視化(OS1-6 噴流,後流および剥離流れの流動解析と応用,オーガナイズドセッション)
- PIVを用いた複合ネットワーク流出噴流の可視化
- 417 クリーンルームへの水噴霧加湿の性能評価 : 噴霧ノズルの位置が室内湿度分布に及ぼす影響(環境数値シミュレーションI,環境保全型エネルギー技術)
- 省エネルギー配管システム ノンバルブシステム
- 業務用ディスポーザ排水システムの搬送性能向上手法
- 業務用ディスポーザ排水システムの搬送性能
- 423 水噴霧技術による新幹線車両基地温熱環境の改善 : 噴霧水量が温度変化に及ぼす影響(車両,環境保全型エネルギー技術分野)
- K-1606 水素吸蔵合金を用いた蓄熱システムの実験による検討(J09-2 蓄冷・蓄熱における最新の進展(2))(J09 蓄冷・蓄熱における最新の進展)
- 450 水噴霧加湿におけるミストの加湿吸収距離(省エネルギー(5))
- 0136 菱形角柱群管路内でのポケット部による流れの影響(OS1-7 噴流,後流および剥離流れ現象の解明と制御,オーガナイズドセッション)
- D-14 エアワッシャー内での水滴の挙動
- D-22 エリミネーターによる水滴の捕集に及ぼす重力の影響
- E-24 都市ごみ廃熱を利用した水素吸蔵合金を用いた蓄熱システム : (第3報) 冷房性能
- G-20 ペリメータダクト方式による温度成層型空調の実験的研究
- D-21 エアワッシャー内での水滴の挙動に及ぼす重力の影響
- OS-21 空調システム,給湯システムの各種制御手法におけるエネルギー削減効果の実態調査 : (その3) 変流量制御に関する実運転データとその評価
- G-13 雪冷房に関する研究 : 雪の融解形状と熱伝達について
- F-71 車両熱輸送のためのCaCl_2/CaCl_2・2H_2O系化学蓄熱槽の性能試験
- G-28 循環系に適合したケミカル除去ワッシャの開発
- G-10 業務用ディスポーザシステムにおける排水の搬送性能に関する実験研究 : その2、ポンプ連続運転の搬送性能
- H-53 屋外雪保存に関する多地域試験結果の横斯的評価
- C-10 盛岡市郊外に建設された総合大学の設備計画と環境測定 : (その1)設備計画と省エネルギーコンセプト
- A-35 各種換気方式についての換気効率に基づくオフィス空間の換気性能評価に関する研究
- C-12 盛岡市郊外に建設された総合大学の設備計画と環境測定 : (その3)地中熱利用とコジェネレーションの効果
- E-18 盛岡市郊外に建設された総合大学の設備計画と環境測定 : (その5)クールヒートトンネルの環境測定と性能分析
- E-17 盛岡市郊外に建設された総合大学の設備計画と環境測定 : (その4)エネルギー消費量とコージェネレーション
- C-11 盛岡市郊外に建設された総合大学の設備計画と環境測定 : (その2)環境実測結果
- G-28 Sビルにおけるペリメータ空調計画 : (第一報)傾斜天井を持つオフィスペリペータ空間における空調について
- B-46 都市ごみ廃熱を利用した水素吸蔵合金を用いた蓄熱システム : (第2報)夜間の蓄熱性能
- B-45 都市ごみ廃熱を利用した水素吸蔵合金を用いた蓄熱システム : (第1報)システム概要
- E-8 煙突効果の抑制対策に関する研究 : 対策運転による差圧低減効果の測定
- G-29 Sビルにおけるペリメータ空調計画 : (第二報)模擬実験によるペリメータ温熱環境の性能把握
- C-48 吸収液除湿式空気調和方式によるクリーンルーム空調エネルギー削減の研究開発 : (第1報) 研究概要と基礎実験
- B-8 ミストとダブルスキンによる空調負荷削減技術の実験的研究 : ミスト噴霧による省エネルギーの検討
- E-13 エリミネーターによる水滴の捕集
- C-43 ミストとダブルスキンによる空調負荷削減技術の実験的研究 : その2 ミスト噴霧の水量による効果について
- D-58 水噴霧による半屋外駅舎温熱環境改善に関する研究 : 自然風の影響および改善効果について
- G-50 解剖学実習室ホルムアルデヒド環境の改善手法に関する研究
- C-10 社員食堂用ディスポーザ排水処理システムにおける生ごみ性状の調査
- B-65 酢酸ナトリウム三水和物を用いた潜熱蓄熱槽の性能試験
- C-25 小形ターボファンを組み込んだ変風量(VAV)システムの開発 : (第一報) ファン型VAVユニットによる空調システムの検討
- F-52 都立高校における空調機運転状況の実態調査および学校空調向け時間割スケジュール制御の開発 : その2 照明、換気への機能拡充と冬期の調査結果
- G-58 都立高校における空調機運転状況の実態調査および学校空調向け時間割発停制御の開発
- E-63 半導体工場向け省ヱネ型水噴霧システムの導入事例
- F-52 二流体同時制御による省エネ型水噴霧システムの開発 その2
- F-4 吸収式冷凍機最適制御システムの開発と省エネルギー効果の検証
- D-22 パッシブリズミング空調における快適性と省エネルギーに関する研究 : その19 関西某百貨店における検証のまとめ
- D-33 圧縮空気の大気直接冷却式除湿装置の性能試験