光学モバイル用途に優れたSOQ(シリコン・オン・クォーツ)デバイス(IEDM特集(先端CMOSデバイス・プロセス技術))

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概要

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液晶ディスプレイの小型化、軽量化を可能にするシリコン・オン・クォーツ(SOQ)技術は、携帯電話、ピコプロジェクタ、カメラビューファインダ、そしてヘッドマウントディスプレイなど、次世代のモバイル向け液晶ディスプレイの実現に極めて有望な技術である。現在、小型液晶ディスプレイ向けパネルの量産が開始されており、そのパネル特性向上に向けた技術開発の取り組みが盛んに行われている。SOQとは、光透過性の優れたクォーツ基板上に、低欠陥な薄膜シリコンを貼り合せた技術であり、それによって、高移動度、及び高信頼性のトランジスタを実現させる事が可能になった。本稿では、この光透過性の優れたSOQトランジスタをパネル技術と融合させる事によって、光学特性に優れた透過型LCOSパネルが実現したので報告する。
2012-01-20

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