シングルトレンチ型SiON導波路TE-TMモード変換器(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,一般)
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概要
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TE-TMモード変換器は,光回路における基本的な機能デバイスである.本研究ではシングルトレンチ型SiON導波路を用いたTE-TMモード変換器について検討した.このデバイスは従来のものと異なり,1回のマスク形成・エッチングプロセスで製作できる利点がある.本報告では,シングルトレンチ型SiON導波路TE-TMモード変換器の設計と製作,特性評価について述べる.シミュレーションの結果,TE-TMモード変換効率の波長依存性は波長1.25μmから1.29μmの範囲で0.3%以下と極めて小さいことがわかった.また,反応性イオンエッチングを用いて実際にシングルトレンチ構造を製作した.製作したデバイスのTE-TMモード変換効率を測定したところ,モード変換器長400μmのデバイスで,波長1.27μmにおいて最大で80%の変換効率が得られた.
- 2012-01-19
著者
-
庄司 雄哉
東京工業大学大学院理工学研究科
-
水本 哲弥
東京工業大学 大学院理工学研究科
-
光本 哲弥
東京工業大学大学院理工学研究科 電気電子工学専攻
-
水本 哲弥
東工大院・理工・電気電子工学専攻
-
中山 謙一
東京工業大学大学院理工学研究科電気電子工学専攻
-
中山 謙一
東工大院・理工・電気電子工学専攻
-
庄司 雄哉
東工大院・理工・電気電子工学専攻
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