Er_<0.45>Y_<1.55>SiO_5結晶導波路における導波特性の評価(光パッシブコンポネント(フィルタ、コネクタ、MEMS)、シリコンフォトニクス、光ファイバ、一般)

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概要

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Radical-Assisted Sputtering法を用いて作製したEr_<0.45>Y_<1.55>SiO_5結晶は,Er_2SiO_5結晶に由来する発光スペクトルを示した.作製したEr_<0.45>Y_<1.55>SiO_5結晶へ導波路構造の応用を行ったところ,波長1480nmの励起光導波損失は174cm^<-1>と推定された.これはsol-gel法で作製した試料と比較して102cm^<-1>程度小さい値であり,作製方法の変更により散乱損失が大幅に抑制された.
2011-12-09

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