PLD法によるSi基板上へのEr_xY_<2-x>SiO_5結晶薄膜作製(光パッシブコンポネント(フィルタ,コネクタ,MEMS),シリコンフォトニクス,光ファイバ,一般)
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概要
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パルス・レーザー堆積(PLD)法をもちいてEr_xY_<2-x>SiO_5結晶の作製を行った。結晶構造、PL微細構造は組成によらず、またErをYに置換することでEr^<3+>-Er^<3+>間のエネルギー移動を抑え、PL発光効率の上昇が確認された。またEr_xY_<2-x>SiO_5層状結晶における配列制御することでPL発光効率の増加が確認された。このときEr原子がSi近傍に存在する方が高効率化に有効であることがわかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2010-12-10
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