1J3-1 AT-cut MEMS水晶重力センサの実験結果(圧電デバイス(バルク波デバイス,弾性表面波デバイス))
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概要
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- 2011-11-08
著者
-
松岡 俊文
京都大学
-
相澤 隆生
サンコーコンサルタント(株)
-
松岡 俊文
京都大学大学院社会基盤工学専攻
-
小山 光明
日本電波工業(株)
-
相澤 隆生
サンコーコンサルタント
-
小山 光明
日本電波工業
-
武藤 猛
日本電波工業
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