1208 低流体ノイズサーボ弁による空気圧微動ステージの超精密位置決め制御(情報・知能・精密機器,交通・物流)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2010-02-24

著者

• 川嶋 健嗣

  東京工業大学精密工学研究所

• 藤田 壽憲

  東京電機大学

• 川嶋 健嗣

  東京工大

• 藤田 壽憲

  東京電機大

• 高橋 宣行

  東京電機大学

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