静圧軸受を用いた空気圧サーボテーブルシステムにおける空気消費量の考察
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概要
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- 計測自動制御学会の論文
- 2006-03-31
著者
-
香川 利春
東京工業大学 精密工学研究所
-
川嶋 健嗣
東京工業大学精密工学研究所
-
藤田 壽憲
東京電機大学
-
榊 和敏
住友重機
-
香川 利春
東京工業大学大学院
-
藤田 壽憲
東京電機大 工
-
榊 和敏
住友重機械工業(株)
-
宮島 隆至
東京工業大学総合理工学研究科知能システム科学専攻博士課程
-
藤田 壽憲
東京電機大
-
榊 和敏
住友重機械工業
-
川嶋 健嗣
東京工業大学 精密工学研究所
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