静圧支持ピストン構造をとるエアサーボテーブル
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概要
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- 1996-03-01
著者
-
香川 利春
東京工業大学 精密工学研究所
-
榊 和敏
住友重機
-
藤田 壽憲
東京工業大学精密工学研究所
-
張 志城
東京工業大学 精密工学研究所
-
大隅 雄三郎
京セラ株式会社 精密ユニット開発課
-
明石 幸治
京セラ株式会社 精密ユニット開発課
-
三上 善秋
京セラ株式会社 精密ユニット開発課
-
榊 和敏
東京工業大学工学部 制御システム工学科
-
大隅 雄三郎
Ses研
-
大隅 雄三郎
京セラ株式会社 E開発
-
三上 善秋
京セラ
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