三上 善秋 | 京セラ

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概要

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関連著者

• 三上 善秋

  京セラ株式会社 精密ユニット開発課

• 三上 善秋

  京セラ

• 吉本 成香

  東京理科大学工学部

• 岩崎 健一

  京セラ(株)

• 岩崎 健一

  京セラ

• 吉本 成香

  東京理科大学

• 香川 利春

  東京工業大学 精密工学研究所

• 榊 和敏

  住友重機

• 藤田 壽憲

  東京工業大学精密工学研究所

• 張 志城

  東京工業大学 精密工学研究所

• 大隅 雄三郎

  京セラ株式会社 精密ユニット開発課

• 明石 幸治

  京セラ株式会社 精密ユニット開発課

• 榊 和敏

  東京工業大学工学部 制御システム工学科

• 大隅 雄三郎

  Ses研

• 大隅 雄三郎

  京セラ株式会社 E開発

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著作論文

• 静圧支持ピストン構造をとるエアサーボテーブル
• 真空チャンバ内非接触位置決め機構用静圧空気軸受(実験結果)
• 真空チャンバ内非接触位置決め機構用静圧空気軸

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