岩崎 健一 | 京セラ(株)

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概要

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• 岩崎 健一

  京セラ(株)

• 吉本 成香

  東京理科大学工学部

• 吉本 成香

  東京理科大学

• 岩崎 健一

  京セラ

• 三上 善秋

  京セラ株式会社 精密ユニット開発課

• 三上 善秋

  京セラ

• 吉田 雄一

  東京理科大学大学院

• 檀原 伸補

  東京理科大学工学部

• 壇原 伸補

  理科大

• 三上 喜秋

  京セラ(株)

• 岩崎 健一

  京セラ(株)滋賀八日市工場機構部品事業部

• 岩崎 健一

  京セラ(株)fc事業本部機構部品開発課

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著作論文

• 静圧気体軸受(エアスライド)
• 真空対応型静圧軸受
• 高真空対応型静圧空気ジャーナル軸受の排気システムに関する研究
• 真空チャンバ内非接触位置決め機構用静圧空気軸受(実験結果)
• 真空チャンバ内非接触位置決め機構用静圧空気軸
• 解説 真空対応型静圧気体軸受--静圧気体軸受と空気圧アクチュエータを用いた半導体露光装置
• 空気圧アクチュエータを用いた次世代半導体露光装置の開発

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