大隅 雄三郎 | Ses研
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概要
関連著者
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張 志城
東京工業大学 精密工学研究所
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大隅 雄三郎
Ses研
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香川 利春
東京工業大学 精密工学研究所
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藤田 壽憲
東京工業大学精密工学研究所
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大隅 雄三郎
京セラ株式会社 精密ユニット開発課
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大隅 雄三郎
京セラ(株)
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大隅 雄三郎
京セラ株式会社 E開発
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榊 和敏
住友重機
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明石 幸治
京セラ株式会社 精密ユニット開発課
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三上 善秋
京セラ株式会社 精密ユニット開発課
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榊 和敏
東京工業大学工学部 制御システム工学科
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三上 善秋
京セラ
著作論文
- 静圧支持ピストン構造をとるエアサーボテーブル
- 圧電素子形空気圧制御弁による静圧軸受テーブルの精密位置決め
- 静圧軸受け機構を利用した高速・精密位置決め用エアサーボテーブルの開発
- セラミックエアスライド・エアスピンドル利用「超」高速・精密位置決めテ-ブル (特集 アルミナの動向)
- 静圧機講を利用したエアサーボテーブルの高速・精密位置決め