716 シアフォース制御下の超音波摺動によるナノリソグラフィー(材料・設計(6))

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概要

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• 2010-09-24

著者

• 村岡 幹夫

  秋田大学工学資源学部機械工学科

• 村岡 幹夫

  秋田大学

• 臼井 辰徳

  秋田大院

• 村岡 幹夫

  秋田大

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